
半导体光刻胶原料制备车间主要完成光刻胶关键单体的合成、提纯、出料作业,仪表间内部布置整套制备系统在线分析仪表、信号转换模块、供电控制单元。车间周边工况特殊,精密仪表设备对温湿度十分敏感,需要持续新风过滤置换,设备必须达到防爆安全标准。英腾 116KW 热泵型全新风吊装式防爆空调机组,依靠 116KW 大冷量输出、全新风换气、吊装结构、CNEX 防爆认证,服务半导体光刻胶原料制备车间仪表间环境管控。
半导体光刻胶原料制备车间仪表间,各类精密分析仪表、信号转换电控设备不间断运行,仪表机柜持续产热,夏季环境升温,仪表间围护结构吸热,进一步抬升室内温度。精密检测仪表对工作温度区间较为敏感,室内温度异常波动,会直接造成原料组分检测数据失真,干扰整套制备工序工艺调节。仪表间地面摆放大量分析仪表机柜、接线箱,落地式空调设备会占用巡检通道,吊装式安装利用顶部钢结构,完整保留地面操作空间。厂区空气中存在微量有机介质,密闭仪表间缺少新风,热量、杂质容易堆积,加速仪表接线端子老化锈蚀。普通空调无防爆资质,不能直接用于光刻胶原料制备配套区域。冬夏温差大,设备需要兼顾制冷、制热,保障仪表稳定工作。
英腾 116KW 热泵型全新风吊装式防爆空调机组,热泵型,制冷量 116KW,取得 CNEX 防爆认证,整机关键电气元器件完成防爆处理,消除电气方面风险隐患。全新风功能设计,大换气量,将室外空气过滤、调温之后送入仪表间,过滤杂质,置换室内热空气,保障仪表间空气条件满足半导体材料制备工艺标准。吊装式机体悬挂于仪表间顶部钢梁,地面空间全部留给仪表机柜摆放与人员巡检,不干涉现场运维作业流程。热泵系统兼顾制冷制热,面对四季温度波动,稳定维持仪表间环境条件,保障在线分析仪表检测精度。机组换热部件采用铜管结构,外壳抗腐蚀损耗,适配制备车间长时间连续作业工况,降低部件损耗概率。
重庆英腾环境科技面向半导体材料制造场景,持续打磨防爆温控装备,可结合仪表间层高、吊顶承重、风量需求,出具完整安装实施方案。机组出厂执行整机性能全项检测,配套全套技术文档,满足电子制造项目验收归档要求。
设备在半导体光刻胶原料制备车间仪表间投入运行,夏季高温,机组对高温室外新风做降温过滤处理,送入仪表间带走仪表机柜热量;低温时节,热泵制热提升新风温度,保证室内温度处于仪表允许工作区间。持续全新风置换,过滤外界杂质,及时排出室内热空气,减少污染物堆积对在线分析仪表的负面影响。吊装布局,运维人员在地面就可以开展设备巡检维护,不用挪动精密在线分析仪表,简化现场运维流程。
光刻胶原料制备工序,仪表间环境参数直接决定原料检测数据的参考价值。倘若室内温度波动大、杂质侵入堆积,会造成仪表检测工况偏移,导致工艺调控出现偏差。一体化全新风防爆空调,同时完成制冷制热、新风过滤置换、安全防护,对比分开配置通风机、普通制冷设备,系统集成度更高,环境参数管控更加均衡,整机具备合规认证,满足精密电子制造项目设备准入条件。
半导体光刻胶原料制备车间仪表间,对温控通风设备提出多重综合性能要求。英腾 116KW 热泵型全新风吊装式防爆空调机组,融合大冷量温控、防爆防护、全新风空气处理、吊装安装优势,适配半导体光刻胶原料制备车间仪表间工况,助力光刻胶原料制备工序稳定开展。
